ВЛАСТИВОСТІ НАДТВЕРДИХ НАНОСТРУКТУРОВАНИХ ПОКРИТТІВ TI-HF-SI-N
О.Д. Погребняк, А.П. Шпак, В.М. Береснєв, Ф.Ф. Комаров, П. Конарскі, В.В. Углов, М.В. Каверін, Н.А. Махмудов, І. Якущенко, В.В. Грудницький, Д.О. Колесніков, Л.В. Маліков
Full Text : (950 kB, Eng.)
Анотація
У роботі отримані нові надтверді покриття на основі Ti-Hf-Sі-N з високими фізико-механічними властивостями. У процесі синтезу методом вакуумно-дугового осадження із
застосуванням ВЧ напруги розпорошувався суцільнолитий катод Tі-Hf-Sі. Нітриди формувалися у середовищі атомарного азоту (N) або у суміші Ar/N, які напускалися у
камеру при різних тисках. Хімічний і фазовий склади тонких плівок аналізувалися методами RBS, SІMS, GT-MS, SEM з EDXS, РСА, а твердість визначалася
наноіндентуванням. Досліджувалися трибологічні та корозійні властивості покриттів. Отримані покриття є двофазними наноструктурованими nс-(Tі, Hf)N і α-Sі3N4. Розміри нанозерен твердого розчину варіювалися від 3,8 до 6,5 нм, а товщина навколишньої оболонки α-Sі3N4 змінювалася від 1,2 до 1,8 нм. Твердість покриттів H становила 42,7 ÷ 48,6 ГПа, а модуль пружності Е приймав значення від 450 ГПа до 515 ГПа. Визначено стехіометрію плівок при різних умовах осадження. Встановлено, що у зразках
надтвердих покриттів із твердістю 42,7 ÷ 48.6 ГПа спостерігалася нижча шорсткість у порівнянні з іншими зразками, коефіцієнт тертя становив 0,2, і його значення не
змінювалося за глибиною (товщиною) покриття. Адгезія плівки до підкладки досягла 25 МПа.
|